磁场非平衡度相关论文
基于二维有限元算法使用COMSOL软件对圆形复合式磁控溅射阴极的磁场进行了计算,结合Matlab优化工具箱分别采用遗传算法和模拟退火......
通过采用不同磁场强度的磁铁获得了3种不同非平衡态的磁控管,采用单靶溅射模式于单晶硅衬底上制备了Cr膜。研究了不同磁场非平衡状......
本文通过改变矩形平面磁控管内心部磁铁的磁感应强度,得到了七组非平衡程度各不相同的磁场组态,并采用高斯仪测量了各组磁控管表面......