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掩模选择性生长法相关论文
压阻式金刚石压力微传感器的制作与测试
由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性,适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石......
期刊
压阻式
金刚石薄膜
压力微传感器
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掩模选择性生长法
制作方法
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pressure microsensor
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