掺氮碳膜相关论文
u该文利用射频磁控溅射法成功制备了类金刚石薄膜及掺氮的非晶态碳薄膜,系统研究了溅射功率和基片温度对所沉积的非晶碳薄膜的性能......
在低温和常压下，通过电解甲醇和氨水混合溶液，在硅基片上进行沉积掺氮碳膜的尝试，得到了含氮８％的类金刚石薄膜。通过拉曼光谱和Ｘ光电子能......
