【摘 要】
:
u该文利用射频磁控溅射法成功制备了类金刚石薄膜及掺氮的非晶态碳薄膜,系统研究了溅射功率和基片温度对所沉积的非晶碳薄膜的性能的影响,以及不同的气体比例和沉积温度对所
论文部分内容阅读
u该文利用射频磁控溅射法成功制备了类金刚石薄膜及掺氮的非晶态碳薄膜,系统研究了溅射功率和基片温度对所沉积的非晶碳薄膜的性能的影响,以及不同的气体比例和沉积温度对所制备的掺氮碳膜的影响,优化了上述两种薄膜制备条件,对所制备类金刚石薄膜用SEM,Raman紫外光谱及Ⅰ-Ⅴ曲线进行了表征;并对掺氮的碳膜进行了XPS谱图及红外光谱的测试.研究结果表明,通过控制不同的油射功率和沉积温度,可获得特定光学能隙的薄膜,从而使该类薄膜能满足各种实际应用的需要.XPS表明随着N<,2>/Ar的比例的增加,碳氮膜中氮的含量增加.说明氮气对氩气比例升高,是在一定范围内提高氮含量的一个效方法.而红外光谱则表明,在薄膜中氮不仅以原子态的形式存在,而且与碳原子形式成了化学键,使薄膜质量得到了改善.
其他文献
该文就CuCl和Ge掺Al团簇组装膜的结构和光学性质进行了探讨.
作者用投影算符技术将正则表示按不可约表示约化,从而计算了T和C 对称分子的对称基,用这种方法易于得到多原子分子的伸缩振动或弯曲振动的任意声子数的对称基的一般表达式.对
该文用神经网络生物物理学模型研究了短时记忆的神经元电活动方式,通过"速合-发放"模型,采用心理物理函数,数值模拟了短时记忆网络中神经元的不同耦合和不同发放,研究了短时
《全国矿产资源规划(2008~2015年)》近日由国务院批准实施。《规划》围绕全面提高矿产资源对经济社会可持续发展的保障能力,切实巩固保障全面建设小康社会的矿产资源基础,明确
纳米材料具有优异的物理性能,在机械工程、电子和光电子器件、电磁防护和生物医学等领域都有着广泛的应用潜力,从而成为学者关注的焦点之一。SiC纳米粒子是一种性能优良的非
超冷分子的研究既联系着物理学的基本理论也联系着最先进的实验技术,具有很高的理论意义和重要的应用价值。超冷分子的产生是原子冷却技术的延伸,也是致冷技术的挑战。由于分子
《浮生记》,分为两个部分。第一部分:“每涂篇”。整理的是我的一些钢笔线描画,选取部分上色处理,形成淡彩钢笔的图集。其中大约选有30副左右,采用纸本淡彩和钢笔绘制。第二