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直流反应磁控溅射制备非晶掺锌氧化铟沟道层薄膜
采用直流反应磁控溅射In/Zn合金靶材在室温下制备了非晶掺锌氧化铟(a-IZO)薄膜,作为沟道层应用于氧化物薄膜晶体管。通过在沉积过程......
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掺锌氧化铟
直流反应磁控溅射
薄膜晶体管
zinc-doped indium oxide DC reactive magnetron sputtering TF
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