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基于Mg_xZn_（1-x）O薄膜固体装配型体声波谐振器

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采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备掺镁氧化锌薄膜,利用SEM（扫描电镜）、XRD（X射线衍射）和椭偏仪等设备研究薄膜的表面形貌、成分、结......

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