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采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备掺镁氧化锌薄膜,利用SEM（扫描电镜）、XRD（X射线衍射）和椭偏仪等设备研究薄膜的表面形貌、成分、结构和厚度.结果表明,溅射功率没有对薄膜的生长方向产生较大影响,当溅射功率在40 W到100 W之间变化时,随着溅射功率的增大薄膜的结晶状况变好,晶粒尺寸变大,薄膜的厚度增加.