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z轴硅微陀螺仪残余应力分析及结构优化研究
硅微型机械振动陀螺仪是近十几年发展起来的一种新型陀螺仪,是MEMS的重要组成部分之一。经过十几年的努力攻关,目前我国已具备了自......
学位
硅微型机械振动陀螺仪
残余应力
方波梁
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