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硅微型机械振动陀螺仪是近十几年发展起来的一种新型陀螺仪,是MEMS的重要组成部分之一。经过十几年的努力攻关,目前我国已具备了自主设计、研制MEMS惯性仪表的能力。但是在硅微陀螺仪的产业化方面,与国外还存在一定差距,究其原因,一个重要因素就是由于工艺条件落后和设计经验不足,使得结构中存在的残余应力大大降低了陀螺仪的性能。本文首先应用陀螺仪基本理论和材料力学理论,对z轴硅微型机械振动陀螺仪的工作机理进行了全面的研究。其次,通过对硅微陀螺仪的加工过程的逐步分析和利用ANSYS软件仿真,