无槽无铁芯相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

无槽无铁芯相关论文

基于无槽无铁芯直线驱动器的多自由度直接驱动精密微动平台研究

多自由度微动平台是一种适用于精确定位运动的直接驱动型执行器,可以广泛应用于半导体光刻、精密数控加工、纳米表面形貌测量、物......

学位

无槽无铁芯直线驱动器多自由度直接驱动精密微动平台运动控制优化设计

看过本文同时还关注