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精密微动平台相关论文
考虑温度效应的精密微动平台力学性能研究
精密微动平台广泛应用于生物工程、医疗科学、微机械制造、航空航天等前沿领域。微动平台往往工作于温度变化的环境中,温度变化会......
学位
温度效应
精密微动平台
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有限元方法
稳健设计
基于无槽无铁芯直线驱动器的多自由度直接驱动精密微动平台研究
多自由度微动平台是一种适用于精确定位运动的直接驱动型执行器,可以广泛应用于半导体光刻、精密数控加工、纳米表面形貌测量、物......
学位
无槽无铁芯
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精密微动平台
运动控制
优化设计
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