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晶格失配位错相关论文
硅锗异质结结构中失配应变微观释放机理与分子模拟
随着对Si基半导体器件速度和功率要求的不断提高,使用应变方法进行人工能带剪裁的技术显得越来越重要。这项技术的基础,就是得到表面......
学位
硅锗异质结
半导体器件
晶格失配位错
应变释放
空位缺陷
分子束外延
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