晶片均匀性相关论文
采用不同的化学腐蚀方法,探讨了不同体系成份、温度、腐蚀过程的吸收热对晶片均匀性的影响,提出了氨水系列,进行晶片化学腐蚀,晶片厚度......
采用不同的化学腐蚀方法,探讨了不同体系成份、温度、腐蚀过程的吸放热对晶片均匀性的影响,提出了氨水系列,进行晶片化学腐蚀,晶片厚度......