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离子束增强沉积VO2多晶薄膜的相变模拟
用多晶薄膜晶粒-晶界两相结构模型,考虑晶格畸变和载流子对晶界势垒区的隧穿机制,在10~100℃范围内,模拟了离子束增强沉积(IBED)VO2......
期刊
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VO2 polycrystalline filmion beam enhanced depos
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