离子束增强沉积VO2多晶薄膜的相变模拟

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kingtigerzhang

【摘要】

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用多晶薄膜晶粒-晶界两相结构模型,考虑晶格畸变和载流子对晶界势垒区的隧穿机制,在10～100℃范围内,模拟了离子束增强沉积(IBED)VO2多晶薄膜的相变.模拟结果显示,由于晶粒中间

【作者】

：

袁宁一李金华李格

【机构】

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江苏工业学院,江苏工业学院

【出处】

：

功能材料与器件学报

【发表日期】

：

2004年3期

【关键词】

：

VO2 多晶薄膜离子束增强沉积晶格畸变晶界隧穿相变模拟 VO2 polycrystalline filmion beam enhanced depos

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用多晶薄膜晶粒-晶界两相结构模型,考虑晶格畸变和载流子对晶界势垒区的隧穿机制,在10～100℃范围内,模拟了离子束增强沉积(IBED)VO2多晶薄膜的相变.模拟结果显示,由于晶粒中间隙位置氩的存在,使VO2晶格畸变,导致了薄膜中部分晶粒的相变温度降低,使IBED VO2薄膜在48℃开始由半导体相向金属相转变.

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