正性抗蚀剂相关论文
以线性酚树脂为母体的醚化物在常温下具有较高的酸解活性,可用于感热正性数字成像体系和分辨率要求不太高的正性抗蚀剂,一般可获得......
PS版(即预涂感光平版)是目前普遍使用的印刷版材.在正性抗蚀剂和阳图PS版中作感光剂的主要是重氮萘醌系感光剂.本文将常温可酸解的......
重氮萘醌系正性抗蚀剂“增感”的进展余尚先＊顾江楠童晓方慧聪（北京师范大学化学系，北京１００８７５）关键词重氮萘醌，正性抗蚀剂，多酚化合物，高感度，Ｍ／Ａ值......
本文综述了酚醛-重氮萘醌正性抗蚀剂的溶解抑制机理，主要包括(1)分子间氢键作用机理；(2)偶联反应机理；(3)两步即静态、动态溶解抑制机......
光刻法的化学机理Photolithography Chemistry Basics光致成像技术在上世纪七八十年代就在PCB制造中应用了，并有书籍介绍，为了图形线......
文章是有关用于LCD的重氮萘醌系正性抗蚀剂的研究。本文采用线性酚醛树脂作为成膜树脂,在研究3,4,5-三羟基二苯甲酮、2,2’,4,4’-......
为了在体硅CMOS FinFET中用等离子体腐蚀精细凹槽图形,研究了将电子束直写曝光用于原为深紫外光学曝光的UV3正性抗蚀剂的工艺技术;......
