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在分析沙漏状X射线组合折射透镜(X-ray compound refractive lens,XCRL)的折射聚焦理论的基础上,设计并利用背面曝光技术制作了SU-......
X射线微探针技术具有可以定量分析、检测信噪比高等诸多优点，它在微区微量分析中是一种不可代替的技术，在地矿、生物医学、材料、环......
提出了一种解决大高宽比SU8结构的新方法．该方法是将SU8胶涂在一块掩模上，紫外光从掩模的背面照射，这样SU8胶的曝光将从底部开始，不需......
柔性感光树脂版问世以来已有20年的历史,其制版网线的线数有了极大的提高。七十年代制版分色的网线数是120线,八十年达到133线,九......
介绍了新型TFT-LCD黑矩阵细线化研究。在原有工艺设备的基础上,突破设备局限和工艺瓶颈,通过引入相掩膜技术和背面曝光设备,达到进......
微型化、集成化和便携化是科技发展的一种趋势,微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)工艺是实现器件微型化、集成化......
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MEMS微针是直径为几十微米、长度在100μm以上的针状结构。因为微针的尺寸小，在刺入皮肤中不易触及痛觉神经而产生痛疼感，因此用这种......
