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氧边界层相关论文
氩气流量对300mm直径单晶硅生长过程中熔体内氧边界层的影响
氧是太阳能级单晶硅中的主要杂质之一,其主要来源于石英坩埚。在晶体生长过程中,熔体对流的强弱对石英坩埚的分解起着至关重要的作......
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氩气流量
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熔体流动
氧含量
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