氩气流量对300mm直径单晶硅生长过程中熔体内氧边界层的影响

来源 :硅酸盐通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:AHUAYA
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
氧是太阳能级单晶硅中的主要杂质之一,其主要来源于石英坩埚。在晶体生长过程中,熔体对流的强弱对石英坩埚的分解起着至关重要的作用。本文采用CGSim晶体生长软件,系统分析了氩气流量与氧边界层的关系。研究结果表明,石英坩埚的分解与氧的边界层厚度有关,而熔体内对流,特别是坩埚壁附近对流的强度对氧边界层会产生显著的影响;通过对固液界面氧含量结果的分析,验证了石英坩埚的分解与侧壁对流的强弱(即边界层的厚度)有关。
其他文献
文章首先介绍了梯度折射率塑料光纤的制造方法和性能;然后,阐述了塑料光纤光缆的性能试验方法和在梯度折射率塑料光纤上进行的数据传输试验的最新发展.
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.
华润电力(常熟)有限公司积极响应江苏省电调〔2017〕198号文“江苏电力调度控制中心关于印发《江苏电网统调发电机组深度调峰技术规范(试行)》的通知”要求,先后于2018年8月
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield
信息与通讯技术(ICT)给服务业带来的深刻变化,不亚于由电力技术和内燃机而引发的第二次工业革命。ICT对服务业劳动就业的影响是一个备受关注的课题。运用技术创新与就业的相关理
【正】自宋本《十一家注孙子》刊行后,备受学界推崇。较之以传世明代道藏本与清代孙星衍校订本,更见胜善,且与银雀山汉墓《孙子》简本及日本樱田《孙子》古本颇多楔合。由曹
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”$ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’#陈川个美食 Back to yield
中职教育是以培养学生职业技能作为首要目标,理实一体化教学模式作为一种高效的教学模式,在中职PLC教学中的推广和应用,不仅将中职学生学习的兴趣和热情激发出来,而且促进了
在光伏产业的快速发展的今天,大直径化必将成为单晶硅未来生产的趋势之一。目前,以大规模集成电路为代表的半导体设备变得愈加完善,这对于直拉单晶硅的生长技术提出了更高的
以轴直齿类零件为例,提出一种快速、能同时测量轴向尺寸和径向尺寸的非接触、多参数综合测量方法。它利用基于光学三角法的激光位移传感器获得轴类零件的径向尺寸,利用半导体激