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化学气相反应制备氧化物晶体
本文采用高温水解反应制备了ZnO晶体,分析了化学气相反应条件下温度和衬底种类对晶体形貌和质量的影响,实验发现500-550℃下在SiC......
学位
高温水解
化学气相输运
氧化锌
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