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氩等离子体退火相关论文
氢化非晶硅薄膜的晶化处理研究
氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜在薄膜太阳能电池、薄膜晶体管、辐射探测和液晶显示等领域有着重要的应用,因而在世界范围内得到了广泛的......
学位
氢化非晶硅薄膜
PECVD
氩气稀释
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氩等离子体退火
光电性能
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