氮化硅管相关硕士博士期刊学术论文

本文介绍了一咱ＬＰＣＶＤ管的ＮＦ３现场清洗方法。与传统的方法相经，现场清洗可提高设备的利用率和产量，同时降低化学材料的损耗。通过附加泵系统对......