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本文介绍了一咱ＬＰＣＶＤ管的ＮＦ３现场清洗方法。与传统的方法相经，现场清洗可提高设备的利用率和产量，同时降低化学材料的损耗。通过附加泵系统对残余物进行分流消除了对ＬＰＣＶＤ系统本身的泵站的损害，安装ＮＦ３清洗系统的奖金回收时间约需３至６个月。
LPCVD多晶硅和氮化硅管的一种简单的现场清洗方法
【摘 要】
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本文介绍了一咱ＬＰＣＶＤ管的ＮＦ３现场清洗方法。与传统的方法相经，现场清洗可提高设备的利用率和产量，同时降低化学材料的损耗。通过附加泵系统对残余物进行分流消除了对ＬＰＣＶＤ系统本身的泵站的损
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1995年1期
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