采用射频等离子增强化学气相沉积（ＲＦ－ＰＥＣＶＤ）技术，在硅片、高铬钢和高速钢麻花钻等衬底上合成氮化碳超硬薄膜。经秀射电子衍射（ＴＥＤ）观测和Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）分......