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采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术,在硅片、高铬钢和高速钢麻花钻等衬底上合成氮化碳超硬薄膜。经秀射电子衍射(TED)观测和X射线衍射(XRD)分析表明,氮化碳具有多晶结构。用X射线光电子能谱法(XPS)测试了C、N原子结合能及含氮量。氮化碳薄膜的付里叶变换红外光谱(FTIR)曲线表明膜中不含石墨相。测得薄膜的显微硬度Hv=29.2 ̄50.0GPa。对比试验表明镀膜麻花钻的钻孔数明显提高。