用扫描探针显微镜(SPM)观察了能量76keV、剂量1.7×l0~(17)cm~(-2)的N_(10)~+团簇离子注入Si(lll)单晶表面的形貌。发现在此条件下......

用扫描探针显微镜(SPM)观察了能量76keV、剂量1.7×10cm-2的N团簇离子注入Si(111)单晶表面的形貌。发现在此条件下,注入层已直接转......

用椭偏仪、傅氏变换红外吸收谱(FT-IR)、X射线光电子能谱(XPS)以及原子力显微镜(AFM)对N+1，N+2，N+10离子高剂量(1.7×1017 ions/cm2)......

用扫描探针显微镜(SPM)观察了能量76keV、剂量1.7×1017cm-2的N+10团簇离子注入Si(111)单晶表面的形貌.发现在此条件下,注入层......