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氮氧共注隔离相关论文
注氮剂量对SIMON材料性能影响的研究
采用氧氮共注的方法制备了氮氧共注隔离SOI(SIMON)圆片,对制备的样品进行了二次离子质谱和透射电镜分析,并对埋层结构与抗辐射性能......
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氧氮共注
氮氧共注隔离
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