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波导集成光路相关论文
硅基聚合物微光机械振动传感器的研究
本论文首次提出、设计并研制出了一种硅基聚合物微光机械传感结构的振动/加速度传感器,论述了新型传感结构的优点及先进性。从理论......
学位
聚合物
微悬臂梁
波导集成光路
微光机械
振动传感器
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