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微光机械相关论文

硅基聚合物微光机械振动传感器的研究

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聚合物微悬臂梁波导集成光路微光机械振动传感器

用于微光机械振动传感器的聚合物波导集成光路研究

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聚合物波导集成光路微光机械振动传感器

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