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活性磁控溅射相关论文
Diffusion barrier performance of nanoscale TaNx thin-film
薄电影的 TaNx nanoscale 和 Cu/TaNx 多层的结构被 DC 反应磁控管劈啪作响在 P 类型 Si (100 ) 底层上扔。TaNx 电影的特征和 Cu/......
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活性磁控溅射
纳米材料
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reactive magnetron sputtering
TaNx nanoscale thin-fi
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