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浅槽刻蚀相关论文
SiC材料的ICP-RIE浅槽刻蚀工艺
介绍了用于SiC器件浅槽制作的ICP-RIE刻蚀原理,选用Cl2/Ar混合气体对SiC材料进行浅槽刻蚀,研究了ICP功率和RIE功率对刻蚀速率、刻......
期刊
SiC
ICP-RIE
浅槽刻蚀
表面粗糙度
刻蚀倾角
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