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非制冷红外焦平面阵列读出电路的BCB牺牲层接触平坦化(英文)
研究了一种基于BCB材料的牺牲层接触平坦化技术,用于红外焦平面阵列Post CMOS工艺之前对读出电路表面的平坦化,以利于微测辐射热计......
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BCB
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