微电子机械相关论文
利用自组装技术及氨基与羧基之间的酰胺化反应,成功地在单晶硅表面制备了3-氨基丙基-三乙氧基硅烷(APS)和硬脂酸(STA)的自组装双层......
本文以固体电解质硼硅玻璃与单晶硅为实验材料,研究了玻璃-金属FDB连接过渡区的微观组织特征及性能,分析了连接机理及主要工艺参数......
针对传统的微电子机械(MEMS)器件制作快速原形设计的不足.本文提出了基于虚拟现实技术的MEMS虚拟设计系统.建立了面向对象的MEMS数......
本文对应用于地面、舰船、空中及空间的无源、有源相控阵雷达进行了介绍,展望了相控阵雷达技术的发展趋势.涉及美国、法国、荷兰、......
基于微电子机械(Micro Electro Mechanical System,MEMS)加工工艺,将16个静电致动的单微阀集成化,形成阵列微阀.它克服了单微阀固......
微型机械技术将给工业领域带来深刻的变革,它被认为是未来工业的一项基础技术。LIGA技术是制作微电子机械的一种重要加工方法。主要对合......
电镀技术在超微细加工及微电子机械系统(MEMS)领域有十分重要的应用,该文介绍利用电铸技术,在硅基上用镍材料制作一种新型微型惯性传感......
该文探讨了多功能结构的思想,实现多功能结构所采用的方法.设计多功能结构是在充分利用原先卫星技术的基础上,利用近些年微电子、......
微梁是微电子机械系统典型的机电耦合系统。随着微电子机械技术的不断创新与快速发展,微梁系统的准确性和稳定性成为当下重点研究......
氧化锡气体传感器目前被广泛应用于许多领域。一方面,由于人们对自身健康和周围环境日益重视,因此氧化锡气体传感器被应用于监测环境......
微电子机械系统在过去二十年中发展迅速,微机械陀螺随着微电子机械系统技术的发展也在不断进步。微机械陀螺尺寸很小,通常在微米量......
提出一种结构简单、使用方便的用于微电子机械部件运动状态测量的光纤斐索干涉装置.考虑到光纤出射光束的发散,在有效反射率中引入......
微电子机械系统技术作为新时代发展全面推广的新兴技术,在影响人们日常生活的同时,得到了各个领域发展的认可.本文以现阶段行业发......
本文提出了基于虚拟现实技术的MEMS虚拟设计系统,给出了MEMS计算机辅助设计系统的解决方案.通过这套MEMS虚拟设计系统,设计人员可......
【正】 北京大学微电子学研究院的前身是1956年由著名物理学家黄昆院士领导在北大物理系创建的我国第一个半导体专门化机构,七十年......
本文借鉴人体内呼吸循环系统的分形结构,利用微电子机械光刻加工工艺,设计制造一套新型分形树状微通道微电子芯片散热器。散热器的初......
Using a standard photolithographical procedure, chemical wet etching and thermal diffusion bonding technology, a chemica......
介绍了一种制作 含有有固体润剂的自油微电子机械的新方法。这种自润滑微电子机械克服了液体润滑剂在微电子机械中的副作用,能够有......
针对微电子机械(MEMS)/全球定位(GPS)组合导航系统中,强非线性引起的扩展卡尔曼滤波(EKF)导航精度不高、滤波性能不稳定、收敛速度......
本人于2003年12月8~14日,出席了在澳大利亚佩斯(Peah)召开的2003年国际光学工程协会(SPIE)主办的微电子、微机械和纳米技术国际研讨......
报道了一种采用电镀方法制作活动微结构的牺牲层工艺,该牺牲层技术可用于微电子机械装置中活动部件的制作。利用电镀形成Zn牺牲层,结合......
利用简单截面形状电极,建立在在分层制造思想上的电极等损耗微细电火花加工技术是实现微三维结构微细加工的有效手段。分析了该方法......
针对由于尺寸效应导致粘着力对微电子机械性能影响的问题,建立了数字微镜的弹性片同基底之间纳米接触的物理模型.根据Hamaker三个......
介绍了一种改进的制备压电厚膜的sol-gel新方法,通过添加聚乙烯吡咯烷酮(poly vinyl pyrrolidone,PVP)来抑制厚膜中裂纹的产生。文中......
<正> 一、概述 微电子机械系统(Micro-Electron—Mechanical—System缩写为MEMS)是在微电子工艺基础上发展起来的多学科交叉的前沿......
随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小,粘着力对微电子机械性能影响越来越大.本文建立了DMD弹性片同基底之间纳米接触的物理模型;根据......
<正> 数字微镜器件(Digital Micromirror Device,早期也有称为Deformable Mirror Device)是一种新型的全数字化的平板显示器件,它......
微电子机械系统技术是一个新兴的应用的技术,其以硅为加工材料将制作对象微型化。腐蚀技术牺牲层技术等技术或复合技术是其所使用......
通信收发机、天线等无线设备的发展趋势是高性能、小体积、低成本.微电子机械系统技术在这一趋势中显现了技术潜力.本文阐述了RF M......
论述了在集成电路和微电子机械微细制造中的光刻技术,为了实现0.1 μm甚至更小特征尺寸的光刻而采用的快速复型技术;这种技术吸收......
电磁型超微型电动机是微机电系统中的关键部件。论述了直径1~3mm电磁型超微型电动机设计中的若干关键问题,如微型电动机的结构设计、磁路......
提出一种结构简单、使用方便的用于微电子机械部件运动状态测量的光纤斐索干涉装置。考虑到光纤出射光束的发散,在有效反射率中引入......
基于硅-玻璃结构,设计并制造了一种MEMS电容式差压压力传感器,利用由硅MEMS微纳米加工技术制作的硅可动薄膜作为压力的感测电极,利......
简要叙述了微电子机械系统研究中的多单元体-微型系统,包括它的种类、结构、工作原理及相关的特性。 对其应用前景作了讨论并提出了......
本文介绍了在微电子技术中广泛应用的光刻技术以及在微电子机械系统中颇有应用前景的LIGA技术,微立体光刻技术(MSL)的发展,并介绍了崭露头角的......
近年来,随着聚合物基MEMS芯片在生物、化学和微光学方面的广泛应用,相应的制作技术成为当前微系统技术的一个研究热点。同时,由于器件......
微结构谐振式压力传感器是通过检测其机械谐振器谐振频率的变化来实现压力测量,它的特点是尺寸小,精度高,稳定性好,易与数字电路接......