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溅射后退火反应法相关论文
溅射后退火反应法制备GaN薄膜的结构与发光性质
报道了用溅射后退火反应法在 Ga As (110 )衬底上制备 Ga N薄膜 .XRD、XPS、TEM测量结果表明该方法制备的 Ga N是沿 c轴方向生长的......
期刊
GaN薄膜
GaAs(110)衬底
光致发光
溅射后退火反应法
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