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喇曼光谱研究硅烷体积分数对Si薄膜结构影响
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在一定射频功率、衬底温度和气压下,在普通玻璃衬底上制备了不同硅烷体积分数的Si薄膜材料......
期刊
等离子体增强化学气相沉积
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喇曼光谱
玻璃封底
硅烷
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Raman spectra
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