电刚度相关论文
介绍了静电伺服微加速度计的基本组成、工作原理,详细分析了加速度计的稳定性与横向加速度、电容间隙、偏置电压的关系,指出当满足......
平行板电容器加载静电时,静电力使得活动极板发生位移,产生等效静电刚度。通过加载在平行板上的静电力引起的静电刚度来调节频率变化......
详细推导了静电伺服加速度计在定极板上施加直流偏压、交流驱动电压,动极板上有反馈直流电压和交流检测电压的情况下,检测质量(动......