基于静电刚度的谐振式微加速度计闭环锁相驱动

来源 :中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lovesici
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平行板电容器加载静电时,静电力使得活动极板发生位移,产生等效静电刚度。通过加载在平行板上的静电力引起的静电刚度来调节频率变化,即加速度引起质量块的位移,位移带来静电刚度的变化,刚度变化带来频率变化。基于静电刚度的谐振式微加速度计可以通过加载检测电压来调节灵敏度,对加工误差具有较好的鲁棒性,重复性和稳定性均比较好。
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