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微尺度热交换相关论文
电热式双S结构MEMS微镜的热学特性研究
微光电子机械系统(Micro-Opto-Electro-Mechanical-System,MOEMS)是将光学与MEMS结合的产物,具有低成本、高性能、微型化、集成化,......
学位
电热式MEMS微镜
微尺度热交换
换热系数
等效电路模型
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