电负性气体相关论文
电子吸附过程对于电负性气体的物理特性和化学特性都起着重要的作用。为此,采用脉冲电子源,配合经过优化设计的迁移管,简便有效地......
本文研究了0_2-CO_2混合气体中的放电过程,特别是电子吸附过程,提出了确定纯氧气真实电子吸附系数η的简便而有效的新方法.
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高功率重频HF/DF激光因其具有的波长和功率优势成为当前中红外激光技术发展的热点之一。介绍了利用紫外预电离横向放电结构和工作......
本文报导了横向放电泵浦高气压KrCl准分子激光器的实验结果。使用HCl:Kr:He=2.5:160:1500混合气体,总气压2～2.5atm,在14cm~3激活区......
本文讨论了确定O_2中真实电离和电附系数的一种新方法。在O_2中加入微量的CO(或H_2)或加入少量的CO_2,测量其混合气体的表观电离系......
利用微波共振探针对40.68 MHz单射频容性耦合SF6、Q2、O2/Ar电负性等离子体电子密度进行了诊断测量.首先,将微波共振探针在Ar等离......
电负性气体的存在会对局部放电过程产生重要影响,为此,以低密度聚乙烯薄膜内的人工气隙作为研究对象,研究了不同氧气与氮气比例、......
讨论了强电负性气体及混合气体的临界击穿场强和特征值的变化规律。对于所研究的气体,当临界击穿场强较高时,其特征值必然较低;而......
本工作主要研究在超高真空环境中,3keV能量电子束轰击Al、Mo、Cu三金属表面所导致的二次电子像上的变化。通过观察不同金属表面或......
提出了一种分析电负性气体中电子崩发展过程的四参数模型.在该模型中,不仅存在电离和附着过程,而且存在着不稳定状态负粒子的去附......
文章对局部放电损伤过程中油浸绝缘纸的表面生成物及气隙气体进行了分析。利用显微镜和扫描电镜分析了绝缘表面形貌;利用红外光谱......
目前广泛应用的电推力器中,大多采用加速单一正离子的方式来获得推力和相应比冲。该加速方式需要增设中和器,对喷射出的正离子进行......
本课题组在过去开展了电正性气体(Ar)射频感性耦合放电模式转化及受迫振荡非线性研究,在此工作基础上,本实验研究电负性气体(SF6)......
在电推力器的广泛应用中,大部分都采用加速正离子的方式产生推力,且需要安装中和器发射电子对喷射出的正离子进行中和,否则会导致......
双频容性耦合等离子体（dual-frequency capacitively coupled plasma DF-CCP）源是半导体工业中重要的刻蚀设备,由于其可以产生大面积......
双频容性耦合等离子体(Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasmas, DF-CCPs)能够独立控制轰击到基片表面的离子通量和能量,从......
