电负性等离子体相关论文
近年来,由于电负性等离子体在微电子工业、光电子器件以及半导体工业上的大量应用,人们对电负性气体的测量愈发重视,并研究了多种电负......
会议
实验通过朗缪尔探针辅助激光诱导解离技术对27.12 MHz驱动的不同含氧量条件下容性耦合Ar等离子体进行了诊断研究.通过质量流量计改......
由于电负性等离子体在微电子工业、光电子器件以及半导体工业上的大量应用,对其性质的研究一直是人们的关注所在。本文主要研究了......
利用探针辅助的脉冲激光诱导负离子剥离诊断技术对掺入5%O_2的容性耦合Ar等离子体电负特性进行了诊断研究.首先详细解析了脉冲激光......
采用波长532nm的高能脉冲激光束照射40.68MHz激发的容性耦合氧等离子体,并给处于激光束中央的探针施加一定的正偏压,由此诊断氧等......
在集成电路与电子设备制造工艺中,氮氧化硅薄膜被广泛应用于电介质与钝化层等方面,这主要是因为氮氧化硅薄膜拥有好的光学性能以及......