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激光诱导解离技术相关论文
射频容性耦合Ar/O_(2)等离子体的轴向诊断
实验通过朗缪尔探针辅助激光诱导解离技术对27.12 MHz驱动的不同含氧量条件下容性耦合Ar等离子体进行了诊断研究.通过质量流量计改......
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激光诱导解离技术
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