直流(DC)磁控溅射相关论文
利用直流（DC）磁控溅射导电率良好的ZnO：Al陶瓷制备ZnO：Al透明导电薄膜。在不同的温度下对靶的溅射得到的薄膜进行X—ray、AFM、霍尔系......
采用直流磁控溅射法在铜箔上制备具有面心立方晶型(fcc)的γ-氮化钼(γ-Mo2N)薄膜电极。通过XRD、SEM、透射电子显微镜及恒流充放......
