直流电弧等离子体喷射法相关论文
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该文综述了金刚石膜的研究现状和工业化应用概况,对直流电弧等离子体喷射法在沉积金刚石膜上的进展也作了介绍.......
利用直流电弧等离子体喷射法沉积装置在底径65 mm、高5 mm的Mo球面衬底上制备出厚度大于500μm金刚石膜。用千分尺测量膜径向厚......
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