直流电弧等离子体喷射法制备氮化碳材料的基础研究

来源 :南京航空航天大学 | 被引量 : 1次 | 上传用户:hwqcy1021
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氮化碳是首个从理论上推导其可能存在,但在自然界中尚未被发现的化合物。众多研究表明氮化碳具有多种相结构,即α、β、立方、准立方和类石墨相等。除类石墨相外,其它相氮化碳的体弹性模量理论值均可与金刚石相比拟,被认为是一种新型的超硬材料,具有高硬度、高化学惰性、高耐磨等优异性能,在涂层刀具等领域具有广阔的应用前景。本文开展了直流电弧等离子体喷射法制备氮化碳材料的基础研究,所完成的主要工作和取得的研究成果如下:1.为使用LP-30直流电弧等离子体喷射设备进行氮化碳制备,对其进行维修及改进。维修了电路、循环水路及真空系统等,增加三条气路(CF4、N2及小流量的H2)并将之与其他反应气体混合接入等离子体炬,添加了基底直流偏压系统。2.参考制备金刚石膜时的电弧稳定性工艺,研究在改变气体氛围制备氮化碳情况下,影响电弧稳定性的关键因素,通过正交试验优化工艺,最终得到稳定旋转的高速电弧。3.采用直流电弧等离子体喷射法,以Mo为基底,通过改变CH4/H2流量及其配比,在1%~3%左右的CH4浓度下制备出微米金刚石过渡层,在10%~15%左右的CH4浓度下制备出纳米金刚石过渡层。采用热丝化学气相沉积法,以YG6硬质合金刀具为基底,沉积了微米金刚石过渡层。4.在Si片、CVD金刚石厚膜片、Mo/微米及纳米金刚石薄膜、YG6硬质合金刀具/微米金刚石薄膜基底上,采用Ar+N2+CF4+H2混合气体,进行了氮化碳材料的制备探索。SEM、Raman等测试表明:除Si片外,在其它基底上均成功制备出氮化碳材料;所制备的样品中主要成分为α-C3N4与β-C3N4,且α-C3N4的成分多于β-C3N4;随着基底温度升高,氮化碳晶粒尺寸增大,N原子百分比升高。
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