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直流辉光等离子体助进热丝CVD法相关论文
直流辉光等离子体助进热丝CVD法沉积金刚石薄膜
采用直流辉光等离子体助进热丝CVD的方法,低温(550~620℃)沉积得到晶态金刚石薄膜.经x射线衍射谱、扫描电子显微镜及Raman光谱分析......
期刊
低温生长
金刚石薄膜
直流辉光等离子体助进热丝CVD法
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