本文主要总结了９４至９８年度ＨＬ－１Ｍ装置的真空进展，包括真空壁条件；真空运行参数；放电进展；影响壁条件的主要因素及其控制指标等。......

借助ＱＭＳ诊断技术，完成了ＨＬ－１Ｍ装置Ｂ化，Ｓｉ化与Ｌｉ化壁的出气特性的对比实验研究。ＧＤＣ期间，Ｈ２出气占支配地位，杂质分压与Ｈ２分压成正比，ＧＤＣ后的本底放气率较同时间烘......

通过对真空运行模式、真空运行参数、辉光放电清洗和硅化壁处理手段的规范化,显著地降低了HL-1M装置的真空壁出气、本底杂质浓度、......

GDC(He+SiH4)是为HL-1M装置研制的一种常规壁处理技术.在He辉光等离子体条件下,通过气相中的电子碰撞离解、电离、离子-分子反应和......

总结了１９９４ 至１９９８ 年度ＨＬ－１Ｍ 装置的真空进展，包括真空壁条件、真空运行参数、放电进展、影响壁条件的主要因素及其控制指标等......

通过对HL-1M装置真空运行模式、真空运行参数、氦辉光放电清洗和硅化壁处理手段等的规范化,显著地改善了装置的真空壁出气、本底杂......