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该文报道中国科学院离子束开放研究实验室在离子束薄膜合成研究和应用方面的发展和现状。着重介绍离子束辅助沉积薄膜合成、真空磁......
采用二极管结构,对真空磁过滤弧源沉积非晶金刚石薄膜(amorphous diamond:a-D)的电子场发射性能进行了研究。结果发现,非晶金刚石薄膜......
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采用ta-C薄膜用于SOI结构中的绝缘层,在高温高功率器件中有很大的应用潜力.应用真空磁过滤弧源沉积(FAD)的方法制备了ta-C薄膜.通......
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