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硅基双层微悬臂梁相关论文
光热激励的硅基双层微机械悬臂梁的特性研究及模拟优化
本文研究了硅基双层微机械悬臂梁在光热激励下的挠曲特性和频率特性 ,并利用建立的数学模型进行了模拟和优化。从而为新型传感器的......
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硅基双层微悬臂梁
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