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硅微压电传声器相对于电容传声器具有制备工艺简单，不需要复杂的气隙制备工艺;工作时，利用的是压电薄膜的压电效应，因此不需要偏置极......
硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.自2002年起,中国科学院声学研究所在中国科学院知识创新工......
硅微传声器是声学微机电系统(Acoustic MEMS)的重要组成部分，主要分为电容式微传声器和压电式微传声器，目前，电容式微传声器已经走向......
<正>名词解释:SF6气体分解产物:SF6电气设备内部故障时会分解产生氟化物、硫化物等衍生物,其中SO2、H2S和CO三种气体可以作为分析......
本文简要介绍了硅微传声器的结构设计,针对硅微电容式传声器气体非常小的特点,从一般原理,低频修正三方面对硅微传声器的灵敏度进......
Miles研究小组受Ormia ochrace寄生蝇声定位机理的启发,通过集成信号的衍射光栅读取技术,从原理上、方法上对现有硅微传声器进行了......
本文介绍了一种新型圆形振动膜ZnO压电微传声器的制备，并对传声器制备的工艺过程进行了较为详细的描述。圆形振动膜的压电传卢器与......
根据所研制的电容式硅微传声器理想模式下的工作原理,建立了分析声-电模型,从理论上分析了器件的机械性能、灵敏度以及频响特性,并......
