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会议论文
硅微传声器
硅微传声器
来源 :中国声学学会2002年全国声学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hwangh
【摘 要】
:
本文简要地介绍了各种主要的硅微传声器的工作原理,工艺实现方法,目前达到的技术水平及应用和市场发展的情况,讨论了在基础研究,工艺技术和测量标定方法等各方面存在的问题,
【作 者】
:
田静
汪承灏
徐联
何世堂
李晓东
刘忠立
【机 构】
:
中国科学院声学研究所(北京)中国科学院半导体研究所(北京)
【出 处】
:
中国声学学会2002年全国声学学术会议
【发表日期】
:
2002年9期
【关键词】
:
硅微传声器
工作原理
生产工艺
市场分析
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本文简要地介绍了各种主要的硅微传声器的工作原理,工艺实现方法,目前达到的技术水平及应用和市场发展的情况,讨论了在基础研究,工艺技术和测量标定方法等各方面存在的问题,指出了进一步的发展方向板.
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